1. Kaasujärjestelmän määritelmä:
Inerttien kaasujen varastointi ja paineensäätö Kaasutyypit: Tyypilliset inertit kaasut (typpi, argon, paineilma jne.)
Putkilinjan koko: 1/4 tuumasta (valvontaputki) 12 tuuman pääputkeen
Järjestelmän päätuotteita ovat: kalvoventtiili/paljeventtiili/palloventtiili, erittäin puhdas liitin (VCR, hitsausmuotoinen), holkkiliitin, paineensäätöventtiili, painemittari jne.
Tällä hetkellä uuteen järjestelmään kuuluu myös erikoiskaasujärjestelmä, jossa käytetään kiinteitä kaasupulloja tai säiliöautoja varastointiin ja kuljetukseen.
2. Puhdistusjärjestelmän määritelmä:
Epäpuhtauksien poisto irtokaasuista erittäin puhtaissa kaasuputkissa
3. Kaasukaappien määritelmä:
Tarjoa paineensäätöä ja virtauksen valvontaa erityisille kaasulähteille (myrkylliset, syttyvät, reaktiiviset, syövyttävät kaasut) ja pysty korvaamaan kaasupulloja.
Sijainti: Sijaitsee alahuoneen kerroksessa tai pohjakerroksessa erikoiskaasujen varastointia varten. Lähde: NF3, SF6, WF6 jne.
Putkilinjan koko: Sisäinen kaasuputki, yleensä 1/4 tuumaa prosessiputkistolle, 1/4-3/8 tuumaa pääasiassa erittäin puhtaalla typpipuhdistusputkelle.
Päätuotteet: Erittäin puhtaat kalvoventtiilit, takaiskuventtiilit, painemittarit, painemittarit, erittäin puhtaat liittimet (VCR, hitsausmuotti). Näissä kaasukaapeissa on pohjimmiltaan automaattiset kytkentäominaisuudet pulloille jatkuvan kaasunsyötön ja pullojen turvallisen vaihdon varmistamiseksi.
4. Jakauman määritelmä:
Kaasulähteen kytkeminen kaasunkeräyskierukkaan
Linjan koko: Haketehtaalla kaasunjakeluputken koko vaihtelee yleensä 1/2 tuumasta 2 tuumaan.
Liitäntämuoto: Erityiset kaasuputket yhdistetään yleensä hitsaamalla ilman mekaanisia liitoksia tai muita liikkuvia osia, pääasiassa siksi, että hitsausliitoksella on vahva tiivistysluotettavuus.
Sirutehtaalla on satoja kilometrejä putkia, jotka on kytketty kaasun siirtoon. Putket ovat pohjimmiltaan noin 6 metriä pitkiä ja hitsattu yhteen. Myös jotkut putkimutkat ja putkimaiset hitsausliitokset ovat hyvin yleisiä.
5. Monitoimiventtiilikotelo (venttiilin jakotukkikotelo, VMB) Määritelmä:
Se on tarkoitettu erikoiskaasujen jakeluun kaasulähteestä laitteiden eri päihin.
Sisäisen putkiston koko: 6 mm:n prosessiputki ja 6 mm:n - 9 mm:n puhdistusputki. Järjestelmässä voidaan käyttää tietokoneohjausta, jos halutaan käyttää toimilaitteita tai manuaalisia venttiilejä edullisemmin.
Järjestelmätuotteet: erittäin puhtaat kalvoventtiilit/paljeventtiilit, takaiskuventtiilit, erittäin puhtaat liitokset (VCR, mikrohitsausmuovaus), paineensäätöventtiilit, painemittarit ja painemittarit jne. Joidenkin inerttien kaasujen jakeluun käytetään pääasiassa venttiilijakotukkipaneelia - VMP (monitoimiventtiililevy), jossa on avoin kaasulevyn pinta eikä se vaadi suljettua tilaa tai ylimääräistä typpipuhdistusta.
6. Toissijainen venttiililevy/laatikko (työkalujen kytkentäpaneeli) Määritelmä:
Kytke puolijohdelaitteiston tarvitsema kaasu kaasulähteestä laitteen päähän ja säädä painetta vastaavasti. Tämä paneeli on kaasunsäätöjärjestelmä, joka on lähempänä laitteen päätä kuin VMB (monitoimiventtiililaatikko).
Kaasuputken koko: 1/4 - 3/8 tuumaa
Nesteputken koko: 1/2 - 1 tuumaa
Poistoputken koko: 1/2 - 1 tuumaa
Päätuotteet: kalvoventtiili/paljeventtiili, yksitieventtiili, paineensäätöventtiili, painemittari, painemittari, erittäin puhdas liitos (VCR, mikrohitsaus), holkkiliitos, kuulaventtiili, letku jne.
Julkaisuaika: 22.11.2024