1. Bulkkikaasujärjestelmän määritelmä:
Inerttien kaasujen varastointi ja paineensäätö Kaasutyypit: Tyypilliset inertit kaasut (typpi, argon, paineilma jne.)
Putkilinjan koko: 1/4 (valvontaputkisto) 12 tuuman pääputkeen
Järjestelmän päätuotteita ovat: kalvoventtiili/paljeventtiili/palloventtiili, erittäin puhdas liitin (videonauhuri, hitsausmuoto), holkkiliitin, paineensäätöventtiili, painemittari jne.
Tällä hetkellä uuteen järjestelmään kuuluu myös bulkki-erikoiskaasujärjestelmä, joka käyttää kiinteitä kaasupulloja tai säiliöautoja varastointiin ja kuljetukseen.
2. Puhdistusjärjestelmän määritelmä:
Epäpuhtauksien poistaminen bulkkikaasuista erittäin puhtaita kaasuputkia varten
3. Kaasukaappien määritelmä:
Tarjoa paineen säätö ja virtauksen valvonta erityisille kaasulähteille (myrkylliset, syttyvät, reaktiiviset, syövyttävät kaasut) ja mahdollisuus vaihtaa kaasupulloja.
Sijainti: Sijaitsee Sub-fab-kerroksessa tai alakerrassa erikoiskaasujen varastointia varten. Lähde: NF3, SF6, WF6 jne.
Putkilinjan koko: Sisäinen kaasuputki, yleensä 1/4 tuumaa prosessiputkistoon, 1/4-3/8 tuumaa pääasiassa erittäin puhtaan typen tyhjennysputkeen.
Päätuotteet: Erittäin puhtaat kalvoventtiilit, takaiskuventtiilit, painemittarit, painemittarit, erittäin puhtaat liittimet (videonauhuri, hitsausmuoto) Nämä kaasukaapit sisältävät periaatteessa automaattiset kytkentäominaisuudet kaasupulloille jatkuvan kaasunsyötön ja kaasupullojen turvallisen vaihdon varmistamiseksi.
4. Jakelun määritelmä:
Kaasunlähteen liittäminen kaasunkeräyskierukkaan
Linjan koko: Haketehtaassa irtokaasun jakeluputken koko vaihtelee yleensä 1/2 tuumasta 2 tuumaan.
Kytkentämuoto: Erikoiskaasuputket liitetään yleensä hitsaamalla, ilman mekaanista liitosta tai muita liikkuvia osia, pääasiassa siksi, että hitsausliitoksella on vahva tiivistysvarmuus.
Sirutehtaassa on satoja kilometrejä kytkettynä kaasun siirtoon putkia, jotka ovat periaatteessa noin 20 jalkaa pitkiä ja hitsattu yhteen. Jotkut letkun mutkat ja putkimaiset hitsausliitokset ovat myös hyvin yleisiä.
5. Monitoimiventtiilikotelo (Valve Manifold Box, VMB) Määritelmä:
Sen tarkoituksena on jakaa erikoiskaasut kaasulähteestä eri laitteiden päihin.
Sisäinen putkilinjan koko: 1/4 tuuman prosessiputki ja 1/4 - 3/8 tuuman tyhjennysputki. Järjestelmä voi käyttää tietokoneohjausta vaatiakseen toimivia venttiileitä tai halvempia tilanteita manuaalisilla venttiileillä.
Järjestelmätuotteet: erittäin puhtaat kalvoventtiilit/paljeventtiilit, takaiskuventtiilit, erittäin puhtaat liitokset (videonauhuri, mikrohitsausmuoto), paineensäätöventtiilit, painemittarit ja painemittarit jne. Joidenkin inerttien kaasujen jakelua varten Valve Manifold Panel - Pääasiassa käytetään VMP:tä (multi-function valve disc), jossa on avoin kaasulevypinta ja joka ei vaadi suljetun tilan suunnittelua ja lisätyppihuuhtelua.
6. Toissijainen venttiililevy/laatikko (Tool Hookup Panel) Määritelmä:
Kytke puolijohdelaitteiston vaatima kaasu kaasulähteestä laitteen päähän ja säädä vastaava paine. Tämä paneeli on kaasunohjausjärjestelmä, joka on lähempänä laitteen päätä kuin VMB (monitoimiventtiililaatikko).
Kaasuputken koko: 1/4 - 3/8 tuumaa
Nesteputken koko: 1/2 - 1 tuumaa
Poistoputken koko: 1/2 - 1 tuumaa
Päätuotteet: kalvoventtiili/paljeventtiili, yksitieventtiili, paineensäätöventtiili, painemittari, painemittari, erittäin puhdas liitos (VCR, mikrohitsaus), holkkiliitos, palloventtiili, letku jne.
Postitusaika: 22.11.2024