As puolijohdeja mikroelektroniikan teknologiat kehittyvät kohti parempaa suorituskykyä ja parempaa integraatiota, elektronisten erikoiskaasujen puhtaudelle asetetaan korkeammat vaatimukset. Erittäin puhdas kaasuputkitekniikka on tärkeä osa erittäin puhdasta kaasunsyöttöjärjestelmää. Se on avainteknologia erittäin puhtaiden kaasujen toimittamisessa kaasunkäyttöpisteisiin, jotka täyttävät vaatimukset ja säilyttävät silti laadukkaan laadun.
Puhdas putkitekniikka sisältää järjestelmän oikean suunnittelun, putkenosien ja apumateriaalien valinnan, rakentamisen ja asennuksen sekä testauksen.
01 Kaasunsiirtoputkiston yleinen käsite
Kaikki erittäin puhtaat ja erittäin puhtaat kaasut on kuljetettava putkistoja pitkin terminaaliin kaasupisteeseen. Kaasun prosessin laatuvaatimusten täyttämiseksi, kun kaasun vientiindeksi on varma, on tärkeämpää kiinnittää huomiota putkiston materiaalivalintaan ja rakennuslaatuun. Kaasuntuotanto- tai puhdistuslaitteiston tarkkuuden lisäksi siihen vaikuttavat suurelta osin monet putkistojärjestelmän tekijät. Siksi putkien valinnassa tulee noudattaa asiaankuuluvia puhdistusalan periaatteita ja merkitä putkien materiaali piirustuksiin.
02Korkean puhtaan putkiston merkitys kaasun kuljetuksissa
Puhtaiden putkistojen merkitys erittäin puhtaan kaasun kuljetuksissa Ruostumattoman teräksen sulatusprosessissa jokainen tonni voi imeä noin 200 g kaasua. Ruostumattoman teräksen käsittelyn jälkeen sen pintaan ei vain tartu erilaisia epäpuhtauksia, vaan myös tietty määrä kaasua imeytyy sen metallihilaan. Kun ilmavirta kulkee putkilinjan läpi, metallin absorboima kaasun osa palaa ilmavirtaan ja saastuttaa puhtaan kaasun.
Kun ilmavirtaus putkessa on epäjatkuva, putki muodostaa paineadsorption läpi kulkevalle kaasulle. Kun ilmavirta lakkaa kulkemasta, putkeen adsorboitunut kaasu muodostaa paineenalennusanalyysin ja analysoitava kaasu pääsee myös putkessa olevaan puhtaaseen kaasuun epäpuhtautena.
Samaan aikaan adsorptio- ja analyysisykli saa putken sisäpinnalla olevan metallin tuottamaan tietyn määrän jauhetta. Tämä metallipölyhiukkanen saastuttaa myös putkessa olevan puhtaan kaasun. Tämä putken ominaisuus on erittäin tärkeä. Kuljetettavan kaasun puhtauden varmistamiseksi ei vaadita ainoastaan, että putken sisäpinnalla on erittäin korkea sileys, vaan myös sen tulee olla korkea kulutuskestävyys.
Kun kaasulla on voimakkaita syövyttäviä ominaisuuksia, putkistoissa on käytettävä korroosionkestäviä ruostumattomia teräsputkia. Muuten putken sisäpinnalle muodostuu korroosiota aiheuttavia korroosiotapoja. Vakavissa tapauksissa suuret metallipalat kuoriutuvat irti tai jopa perforoituvat, mikä saastuttaa kuljetettavan puhtaan kaasun.
03 Putkimateriaali
Putken materiaalivalinta tulee valita käyttötarpeiden mukaan. Putken laatu mitataan yleensä putken sisäpinnan karheuden mukaan. Mitä pienempi karheus on, sitä vähemmän todennäköisesti se kuljettaa hiukkasia. Yleensä jaettu kolmeen tyyppiin:
Yksi onEP-luokan 316L putki, joka on elektrolyyttisesti kiillotettu (Electro-Polish). Se on korroosionkestävä ja sillä on alhainen pinnan karheus. Rmax (maksimikorkeus huipusta laaksoon) on noin 0,3 μm tai vähemmän. Sillä on korkein tasaisuus, eikä se ole helppo muodostaa mikropyörteitä. Poista saastuneet hiukkaset. Prosessissa käytettävä reaktiokaasu tulee johtaa tällä tasolla.
Yksi on aBA luokka 316Lputki, joka on käsitelty Bright Annealilla ja jota käytetään usein kaasuille, jotka ovat kosketuksissa sirun kanssa mutta eivät osallistu prosessireaktioon, kuten GN2 ja CDA. Yksi on AP-putki (Annealing & Picking), jota ei ole erityisesti käsitelty ja jota käytetään yleensä kaksinkertaisiin ulkoputkisarjoihin, joita ei käytetä kaasunsyöttölinjoina.
04 Putkilinjan rakentaminen
Putken suuaukon käsittely on yksi tämän rakennustekniikan avainkohdista. Putkilinjan katkaisu ja esivalmistus suoritetaan puhtaassa ympäristössä ja samalla varmistetaan, ettei putkilinjan pinnalla ole haitallisia jälkiä tai vaurioita ennen katkaisua. Putkilinjan typen huuhteluvalmistelut tulee tehdä ennen putkilinjan avaamista. Periaatteessa hitsauksella liitetään erittäin puhtaita ja puhtaita kaasunsiirto- ja jakeluputkistoja suurella virtauksella, mutta suora hitsaus ei ole sallittua. Vaippaliitoksia tulee käyttää, ja käytetyn putkimateriaalin rakenne ei saa muuttua hitsauksen aikana. Jos hitsataan liian korkeahiilipitoista materiaalia, hitsausosan ilmanläpäisevyys saa putken sisällä ja ulkopuolella olevan kaasun tunkeutumaan toisiinsa, mikä tuhoaa kuljetuskaasun puhtauden, kuivuuden ja puhtauden, mikä johtaa vakaviin seurauksiin. ja vaikuttaa tuotannon laatuun.
Yhteenvetona voidaan todeta, että erittäin puhdasta kaasua ja erityisiä kaasunsiirtoputkia varten on käytettävä erikoiskäsiteltyä erittäin puhdasta ruostumatonta terästä olevaa putkea, joka saa erittäin puhtaan putkiston (mukaan lukien putkistot, putkiosat, venttiilit, VMB, VMP) viemään tärkeä tehtävä erittäin puhtaan kaasun jakelussa.
Postitusaika: 26.11.2024